|
INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于精確的結果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。
|
|
UL1000符合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL(智能化漏率計算系統(tǒng)),無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間 平衡的程序。
|
|
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
|
|
UL1000具有可轉動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。
|
|
應用：
|
 半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有真空泵 |
工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
|
元器件在組裝前的漏率測試
|
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
|
| |
|
技術參數
|
|
最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準）
|
＜5×10-12mbar.l/s
|
|
最小可檢漏率（吸入器模式）
|
＜3×10-8mbar.l/s
|
|
入口壓強 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
|
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
|
|
在抽空過程中的抽速
|
25立方米/小時
|
|
入口壓強對氦氣抽速 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
|
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
|
|
可檢質量數
|
2、3、4amu, 氫，3氦，氦
|
|
電源電壓
|
110－120V；220－241V
|
|
重量
|
110公斤；242磅
|
|
尺寸，包括手把（長×寬×高）
|
1068×525×850毫米
|
|
在線客服
與企業(yè)聯(lián)系時請告知該信息來自教育裝備網！
